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天准科技发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备,开启国产半导体高端检测设备新时代
近日,天准科技(股票代码:688003.SH)参股的苏州矽行半导体技术有限公司(下文简称“矽行半导体”)宣布,公司面向40nm技术节点的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500已完成厂内验证,标志着国产半导体高端检测设备实现了新的突破。这是继去年8月,天准科技正式交付面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备TB1000不到一年后,再次取得的阶段性新进展。高精度明场缺陷检测设备的重要性从整片晶圆到单颗芯片,除了需要耳熟能详的光刻机外,还需要扩散炉、刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积设备、化学机械抛光机和清洗机等一系列必备生产型设备。而缺陷检测设备作为保证芯片质量、降低生产成本,推进工艺迭代的重要工具,在芯片生产流程中不可或缺。特别是随着工艺制程不断演进,制造芯片的成本越来越高,检测设备的重要性与日俱增。其中,拥有更高检测精度、更全缺陷类型覆盖率的明场缺陷检测设备备受行业青睐。作为国产半导体设备厂商的代表,成立于2021年11月的矽行半导体,汇聚了来自国内外知名半导体设备公司、晶圆代工厂、上市公司和研究机构的顶尖人才,专注于高端晶圆缺陷检测设备及零部件的研发、生产和销售,努力填补国产缺陷检测设备市场的空白。依托卓越的技术团队和先进的技术实力,逐步打破了KLA等外商对缺陷检测市场的垄断,为国内半导体产业的发展注入了新的活力。TB1500是矽行半导体最新的研发成果,核心关键部件全部实现自主可控,同时采用了先进的信号处理算法,有效提高信噪比和检测灵敏度。为了满足40nm技术节点的工艺制程需求,TB1500提升了光源亮度和感度,增大了物镜视野和速度,能够捕捉更小缺陷尺寸。天准科技半导体设备深布局,助推国产半导体行业突破此外,天准科技在半导体设备领域持续发力。全资子公司MueTec研发的面向12英寸40nm技术节点的DaVinci G5设备,经过大量的晶圆实测数据验证,表现优异。与前两代产品相比,该设备提升了重复性、吞吐量和高深宽比套刻标记识别能力,将在满足大规模生产的需求下,使复杂芯片图案的套刻精度检测成为可能,极大地提高制造效率。天准科技致力打造卓越视觉装备平台企业,通过自主研发、海外并购德国MueTec和战略投资成立矽行公司等多种途径,强化在半导体检测设备领域的布局。据悉,矽行半导体面向28nm技术节点的TB2000设备当前进展顺利,各核心零部件均已完成开发,计划于2024年底发布样机。随着人工智能、大数据等技术的融合与发展,半导体检测设备将趋向更高精度、更高效率和更高智能化的方向演进。未来,天准科技将凭借其技术创新和战略布局,继续推动技术和产品升级,力争在半导体领域成为一流的半导体量测与检测设备公司,助力国产半导体行业突破。
07-15
2024
天准科技成立全资子公司,深耕智能驾驶与泛机器人领域
近日,天准科技设立名为苏州天准星智科技有限公司的全资子公司,定位于智能驾驶、具身智能以及低空经济等领域,提供人工智能底层技术和软硬件产品。天准星智注册资本2亿元,经营范围涵盖人工智能硬件和基础软件开发、人工智能理论与算法软件开发,以及人工智能通用应用系统等多个方面。天准科技长期深耕智能驾驶和机器人业务,布局车规级智能驾驶域控制器及AI边缘计算控制器两大产品线。车规级自动驾驶域控制器基于国产芯片地平线征程5及征程6研发,面向高阶自动驾驶乘用车前装量产。AI边缘计算控制器基于英伟达Jetson构建,已经落地到无人物流车、智能网联、低空经济、具身智能等多个应用场景。在2023年,天准科技智能驾驶业务实现61.94%的高速增长,并获得广汽、上汽等主机厂的智能驾驶域控制器开发定点项目和概念验证(POC)项目。2024年4月,天准科技成为地平线新一代征程6计算平台的首批四家量产合作伙伴之一,为将来进一步业务发展打下了坚实的基础。天准科技此次投资设立天准星智子公司,是公司重仓通用人工智能(AGI)、推进长期发展战略的重要布局,可以更好地适应智能驾驶业务的高速发展,并进一步大力拓展具身智能、低空经济等业务。子公司未来可通过引入产业投资、联合开发等更加灵活的形式,与产业链上下游紧密合作,促进业务的快速发展。
05-27
2024
计量领域展风采,承载使命向未来
10月31日,首届计量仪器装备展(MIEE 2024)在苏州国际博览中心圆满落下帷幕。天准科技在本次展会上精彩亮相,全方位展示在计量领域的先进技术与创新成果。首届计量仪器装备展(MIEE 2024)由中国计量协会主办,上海市计量协会、江苏省仪器仪表学会联合主办,以“计量支撑新质生产力”为主题,近300家国家产业计量测试中心、计量技术机构、国内外高端仪器仪表企业参展。作为工业计量领域的领军企业,天准受邀亮相本届展会,为观众带来高质量、高精度的计量解决方案。技术突破 国产加速赋能行业解决方案在此次展会中,天准CMZ计量型三坐标吸引了众多参观者的注意。该设备基于超高精度0.3μm国家重大专项复合测量机技术研发而成,天准科技自主完成了测量软件、探测系统、电控系统以及机械系统的研发工作,在国产高精度坐标测量领域树立了新的标杆。其卓越的性能可满足复杂零部件的超高精度检测需求,为众多行业提供了可靠的检测解决方案,有力推动了我国计量行业的发展进步。天准VMZ超高精度影像仪测量精度高达0.8μm,在同类产品里处于领先地位。该设备集成了高倍显微镜头,放大倍率可达6360倍;核心部分搭载了纳米级零膨胀系数光栅尺,确保测量过程的连续性和稳定性;具备微米级激光对焦精度,能够瞬间完成对焦,可轻松应对各种复杂测量任务,广泛应用于半导体、微组装、光通信等高精度测量领域。实力彰显 广泛关注领航计量发展之路10月30日开展首日,天准科技多款展品一经亮相便引起了现场的高度关注与热烈反响。国家市场监督管理总局、江苏省政府、国家总局计量司以及省市场监管局有关领导先后莅临展台参观指导,并对公司取得的成绩给予了充分肯定。下午,国家市场监督管理总局副局长白清元、总局计量司相关领导、全国各省(市、区)市场监管局(厅、委)分管领导、计量处处长以及全国各计量技术机构主要负责人一行至天准公司参观调研。江苏省政府副秘书长司勇、江苏省市场监管局局长、党组书记沈海斌、苏州市市场监管局局长顾玉琪、苏州市高新区领导宋长宝陪同调研。天准科技副董事长杨聪向调研组讲解了公司发展历程、核心优势以及未来战略。创新升级 持续赋能推动新质生产力健康发展作为中国科创板首次过会的三家企业之一,天准科技始终坚持以领先技术推动工业数字化智能化发展。公司将以此次展会和调研为新的起点,以科技创新为核心驱动力,推动产业升级。未来,天准科技将持续深耕工业视觉装备领域,推出更多高精度、高效率的计量装备及解决方案,为发展新质生产力贡献力量。
11-05
2024
CPCA SHOW+2024 | 天准与您相约深圳,共探行业发展趋势
10-31
2024
主题演讲 | 基于 NVIDIA Jetson AGX Orin 的高算力控制器在自动驾驶场景的应用
10月17日,天准科技成功举办了“基于NVIDIA Jetson AGX Orin的高算力控制器产品在自动驾驶场景的应用”的线上演讲活动,详细介绍了天准TADC-Orin-2高算力产品解决方案在矿山工程、智慧港口、大型无人清扫以及无人小巴等场景的应用。双重利好低速无人驾驶产业迅猛发展目前,中国无人驾驶市场正处于政策支持与技术进步的双重驱动下,封闭或半封闭场地的低速无人驾驶技术已稳步着陆,多家L4级自动驾驶公司也已切入低速无人驾驶赛道。据新战略低速无人驾驶产业研究所预测,2025年总体销售规模将达160亿元,各类低速无人车销售数量或达3.4万台。当前,矿区工程、智慧港口、大型无人清扫以及无人小巴等场景普遍存在工作环境相对恶劣,人工成本以及运营成本持续攀升,亟需使用无人驾驶来解决人力成本、运营效率等问题。面向上述场景和行业痛点,作为NVIDIA金牌合作伙伴,天准基于NVIDIA Jetson AGX Orin平台,推出TADC-Orin-2高算力产品解决方案,能够满足L4及以上级别自动驾驶所需的高精度环境感知、复杂决策制定、实时路径规划等要求,更兼顾了能效、安全性与可扩展性。天准TADC-Orin-2控制器高算力产品解决方案·方案介绍天准TADC-Orin-2控制器搭载两颗Jetson AGX Orin模组,算力高达550TOPS,具备强大的计算能力,满足复杂自动驾驶场景下的各种数据处理需求。同时能够接入多路GMSL摄像头、激光雷达(LiDAR)等多种传感器,使得无人驾驶车辆能够实现更精细的环境感知、更快的决策速度和更高的行驶安全性。·核心技术天准TADC-Orin-2控制器实现了自动驾驶与远程接管于一体,支持PTP/gPTP授时,同步精度达到微秒级别,能够满足多应用场景的实际需求。其安全可靠的硬件设计也为无人驾驶商业化运营提供了重要保障。·应用场景天准TADC-Orin-2控制器能够使无人驾驶车辆实现更精细的环境感知、更快的决策速度和更高的行驶安全性,可广泛适用于矿区工程、智慧港口、大型无人清扫、无人小巴等场景。在线互动答疑Q1:嘉宾老师可以具体介绍一下该方案的双MCU设计吗?A1:整机双MCU方案支持英飞凌TC397或者芯驰E3640,两个MCU之间以及MCU与Orin之间可以通过内部的交换机进行数据交互。整机通过MCU进行上下电管理、系统诊断,并支持CAN/CANFD扩展功能。Q2:嘉宾老师演讲中有提到在产品上实现的时间同步,在应用端如何获取这些信息,是打包到V4L2中的吗?A2:天准会提供一套触发取图的Demo给到客户,客户可以集成到自己的应用程序里,包括如何进行触发控制、时间戳获取以及时间戳与图像的绑定方法。客户可以基于这套方法进行开发和集成,当然在集成过程中遇到任何相关问题,天准都会提供技术支持。Q3:双芯片间速率测试达到9Gbps,请问这个速度设计初衷是为了承载多少传感器呢?A3:双Orin之间有2条数据链路,一条是主从Orin之间的PCIE通信,另外一条是通过内置的交换机进行主从Orin之间的数据交互。对于PCIE链路,天准为了方便客户使用,从BSP层将其封装成Vnet的方式,对于用户层来说可以通过TCP/IP的方式进行访问和数据交互。9Gbps的速度是单条链路的数据,在客户实际使用的场景中会把多路图像的数据或者多个激光点云的数据进行传输,因客户的传感器方案和数量不同,所以我们在设计上采用了多条链路通信,保证客户多传感器的数据能够正常交互。
10-24
2024
展会预告 | 天准邀您共聚TPCA SHOW 2024
10-15
2024
结“半”同行 | 天准邀您共赴CSEAC半导体设备年会
09-05
2024
秋风有信 | 天准邀您共赏CIOE中国光博会
9月11-13日全球极具规模和影响力的光电产业综合性展会CIOE中国光博会将在深圳国际会展中心(宝安新馆)举办天准科技将以“智慧光测,量见未来”为主题携多系列工业计量装备亮相本届展会诚邀您莅临展会现场共同见证和探讨未来光学检测技术的无限可能AI技术革新天准AI智能测量这一最新技术研发成果集先进视觉人工智能算法与高精度传感技术为一体旨在为行业提供更高效精准的测量解决方案工业品测量过程中时常因为环境振动、温度波动、刀具磨损等加工过程变量导致影像测量仪的自动提取功能失效需要人工干预提取直到完成测量测量效率低下而融合了AI智能测量功能的天准VM系列影像测量仪通过模仿人脑的神经元网络可自动识别、学习海量被测量物品表面特征融合出实际的产品特征图像成功实现自动提取测量过程兼具自动样图匹配、智能过滤毛刺等功能测量效率提高5倍以上大大提升了产品质量控制效率此外设备的智能化操作界面和灵活的测量模式使得无论是复杂零件的精密测量还是快速批量测量都能轻松应对测量解决方案长期以来天准工业计量装备以产品序列全面、高精准度、高检测效率享誉工业客户领域本次展会天准科技将展出CME经济型三坐标测量机VMQ闪测/VMZ超高精度VMG龙门/VMC经典影像仪等多款测量装备可满足计量院所、航空航天、3C电子、半导体、新能源汽车、医疗器械、五金工具等18个工业领域客户的产品质量控制需求半导体行业应用9月12日上午天准科技将在展会同期“光学检测先进技术论坛”上发表主题演讲与业内专家、现场观众共同探讨光学检测技术在半导体测量领域的应用前景和最新发展趋势期待您莅临天准展台H3-3C21共探光电科技未来趋势持续推动行业技术进步和产业升级
09-05
2024
天准科技荣膺2023年度江苏省企业技术创新奖,彰显精密制造领域卓越创新实力
近日,江苏省科学技术厅公布“2023年度江苏省科学技术奖”获奖名单,黄色仓库(以下简称“天准科技”)凭借在精密制造业领域的卓越创新成果成功入选其中的“2023年度省企业技术创新奖”。据悉,全省仅9家企业入选,天准科技位列苏州市第一。持续创新彰显行业领导地位江苏省科学技术奖是江苏省人民政府设立的省科学技术奖励,设有“省基础研究重大贡献奖”、“省科学技术奖”、“省企业技术创新奖”、“省青年科技杰出贡献奖”等奖项,奖励在本省科学技术活动中做出突出贡献的单位和个人。其中,“江苏省企业技术创新奖”旨在奖励产业规模与竞争能力位居行业前列、引领带动性强的行业领军企业或在细分领域技术创新能力强、竞争优势突出、发挥示范作用的高成长性科技型企业。此次荣获“2023年度省企业技术创新奖”,是天准科技继2022年荣获“江苏省科学技术奖一等奖”后再度获得的省级荣誉。不仅体现了公司在技术创新上的持续努力,同时印证了天准科技在研发创新上的领先地位,彰显了公司在推动产业技术进步中发挥的积极作用。行业标杆高端工业视觉装备天准科技自2005年成立以来就展现出了强大的技术实力和创新能力,致力于为全球中高端工业客户提供视觉测量、检测、制程等高端智能装备。通过持续的研发投入与技术积累,天准科技已成为国内工业视觉装备领域的行业标杆。发展至今,天准科技已累计申请了700余项专利,制定了8项国家与行业标准及规范,获得“国家级专精特新小巨人”、“工信部智能制造系统解决方案供应商”、“国家火炬计划”、“江苏省科学技术奖”等20余项省部级以上荣誉。未来,天准科技将继续以科技创新为核心驱动力,深化技术研发,推动产业升级,助力中国制造向中国智造迈进。公司将以此次获奖为契机,进一步加大研发投入,推动更多技术创新成果的转化应用,不断为客户提供高质量、高精度的解决方案。
08-23
2024
天准VMQ龙门式闪测影像仪,大工件测量的高效精准解决方案
面对现代工业生产中对大工件进行快速、高精度测量的迫切需求,天准重磅推出VMQ龙门式闪测影像仪,以突破创新引领工业测量领域的技术变革,显著提升了大工件的测量效率。在工业生产的质检环节中,影像测量仪的精度是确保产品质量的关键所在。天准VMQ龙门式闪测影像仪通过先进的图像处理和分析算法,为大工件的测量提供了快速且精确的解决方案,能够帮助企业减少废品率、优化生产流程、节省时间与成本,全面提升产品的可靠性和客户满意度。大工件高效精准测量解决方案天准VMQ龙门式闪测影像仪在传统龙门影像仪的基础上,创新性地融合了闪测技术。不仅保留了龙门影像仪原有的高精度和大行程特性,还增加了闪测影像仪的高效与易操作性。此外,该设备的XY平台加速度可达1000mm/s,可实现在保持高精度的同时对大工件进行快速测量。高精度· 搭配双倍率自研镜头,测量精度最高3μm高效率· 最大视野82*55mm,实现大批量快速精准检测,效率提升可达20倍· XY平台加速度可达1000mm/s易操作· 自动图像配准,一键定位,无需专用定位夹具;一人可同时管理多台设备,节约成本· 配置可移动手柄,方便测量任务编制以及机台操作智能化· 外部接口丰富,定制集成到生产线,可实现自动上下料无人作业天准VMQ龙门式闪测影像仪的推出,进一步丰富了天准VM系列影像测量系统的产品族谱,为大型工件提供了更高效、更精准的测量解决方案。该设备可广泛应用于电子玻璃、大型钣金件、连接器、精密机械零件、电子元器件、半导体元器件等领域,完全满足现代精密制造业的高质量测量需求。天准精密测量与高端装备发展天准影像测量仪作为天准创立之初的第一款产品,在天准的业务布局里具有非常重要的战略意义。自2007年推出第一代自动影像仪至今,为满足精密制造行业高精度、高效率、定制化等测量需求,已陆续迭代出闪测、柱式和龙门三大VM系列的影像测量装备产品,目前已累计发货超过11000台,数字的变化见证了天准测量系统业务的持续增长。天准从精密测量开始,围绕着视觉装备,在消费电子、半导体、PCB、光伏等领域,形成一个以视觉技术、计量检测技术为核心的强大高端装备公司,将全力为实现中国在精密计量相关领域的自主可控做出应有的贡献。
08-22
2024